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橢圓測厚儀

產(chǎn)品時間：2025-01-09

簡要描述：

技術指標：





編號


名稱


參數(shù)




1


測量范圍


1nm-300nm




2


測量小值


≤1nm




3


入射角


30°～90°0.1°




4


偏振器方位角讀數(shù)范圍


0°～180°




5


度盤刻度


每格2

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橢圓偏振測厚儀 橢圓測厚儀 型號：HD-SGC-1A

技術指標：

 

編號

名稱

參數(shù)

1

測量范圍

1nm-300nm

2

測量小值

≤1nm

3

入射角

30°～90°≤0.1°

4

偏振器方位角讀數(shù)范圍

0°～180°

5

度盤刻度

每格2度

6

游標小讀數(shù)

0.05°

7

光學中心高度

152mm

8

工作臺直徑

φ70mm

9

外形尺寸

730mm×230mm×290mm

10

主機重量

20kg

橢圓偏振測厚儀 橢圓測厚儀 型號：HD-SGC-1A

技術指標：

 

編號

名稱

參數(shù)

1

測量范圍

1nm-300nm

2

測量小值

≤1nm

3

入射角

30°～90°≤0.1°

4

偏振器方位角讀數(shù)范圍

0°～180°

5

度盤刻度

每格2度

6

游標小讀數(shù)

0.05°

7

光學中心高度

152mm

8

工作臺直徑

φ70mm

9

外形尺寸

730mm×230mm×290mm

10

主機重量

20kg

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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